S1000 校準(zhǔn)圖形放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-光學(xué)計量器具：

S1000 校準(zhǔn)圖形放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品-光學(xué)計量器具：

本標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進行測量，測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測量值分別為：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)—（0-50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

> >  特點：

1、擁有現(xiàn)代的加工工藝，研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量
2、底層鍍有純鈦層，表面有120nm厚的Au膜，不僅可長期穩(wěn)定保存，而且具有良好的導(dǎo)電性
3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu)，與早期使用的初級銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似，   是可以同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進行檢查或校正的標(biāo)樣
4、有德國PTB的計量型原子力顯微鏡的測量研究報告和研制者的研制報告正式發(fā)布(見“掃描電鏡測長問題的討論"一書)，即采用目前精度很好、可溯源的檢測方法，有可靠的文獻依據(jù)
5、S1000曾經(jīng)過我國國家計量研究院的多次檢驗測試，并多次獲得合格證書；
6、S1000早在2005年通過全國微束標(biāo)委會的有關(guān)專家評審?fù)ㄟ^，具備報批國家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格，證明其質(zhì)量優(yōu)良
7、公開出版的“掃描電鏡測長問題的討論"專著實際上是一本S1000的綜合性的研制報告；
8、價格低廉，易于保存、易于普及到每個掃描電鏡和電子探針實驗室
9、功能多，用途多
(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100，000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品：是執(zhí)行GB/T27788“微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則"一個精準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級物體，毫米量級到納米量級長度的精確比對測量，是執(zhí)行GB/T16594和GB/T20307微米和納米測量的一個不能缺少的精準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個重要工具
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點子"圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗